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OLED裝備
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團簇式中式蒸鍍機

產品分類:OLED裝備
點擊次數:3693
發布時間:2019-07-18
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產品詳情

應用范圍:

    

   OLED顯示等行業的薄膜沉積

 

   

    

 

產品特點:

    多腔室團簇分布,中心為傳輸室(TM),四周為工藝室(PM)和基板進出室,可在真空中循環完成有機物薄膜和電極薄膜的沉積。


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