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真空鍍膜機(jī)

硬質(zhì)涂層鍍膜機(jī)

產(chǎn)品分類：真空鍍膜機(jī)
點(diǎn)擊次數(shù)：3099
發(fā)布時(shí)間：2019-07-18
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產(chǎn)品詳情

應(yīng)用范圍：

    

    各種工具（銑刀、鉆頭、拉刀、齒輪刀、絲錐等），精密模具和其他表面硬質(zhì)鍍膜處理

 

   

產(chǎn)品特點(diǎn)：

   優(yōu)化的磁場和電場設(shè)計(jì)。集成HIPIMS和CVD技術(shù)，薄膜致密光滑，兼具高硬度和高韌性，同基底結(jié)合力高。

 

 

硬質(zhì)涂層鍍膜機(jī)參考選型

 

項(xiàng)目

技術(shù)指標(biāo)

  

型號 

KSL -1200

KSL- 1600

KSL -2000

腔體

?1200×H800mm

?1600×H1000mm

?2000×H1200mm

工件架轉(zhuǎn)速

0~60RPM（可變）

  

成膜室抽速

3.0×10-3Pa≤30min

  

極限真空度

8.0×10-5Pa

  

鍍膜系統(tǒng)

DC、MF或RF磁控濺射源 

  

濺射靶材

C、Si 、Nb、Cr、Al、Ti 和各種化合物等 

  

膜厚控制

晶控或光控

  

控制系統(tǒng)

工控電腦+觸摸屏

  

 


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